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技术文章
不同洁净是送风形式和送风量的选择
2020-06-15
6 . 3 . 1 气流流型的设计应符合下列规定: 1 洁净室(区)的气流流型和送风量应符合表6 . 3 . 3的要求。空气洁净度等级要求严于4级时,应采用单向流;空气洁净度等级为4级~5级时,应采用单向流;空气洁净度等级为6级~9级时,应采用非单向流。 2 洁净室工

6.3.1 气流流型的设计应符合下列规定:
    1 洁净室(区)的气流流型和送风量应符合表6.3.3的要求。空气洁净度等级要求严于4级时,应采用单向流;空气洁净度等级为4级~5级时,应采用单向流;空气洁净度等级为6级~9级时,应采用非单向流。
    2 洁净室工作区的气流分布应均匀。
    3 洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求。
6.3.2 洁净室的送风量应取下列三项中的最大值:
    1 满足空气洁净度等级要求的送风量。
    2 根据热、湿负荷计算确定的送风量。
    3 按本规范第6.1.5条的要求向洁净室内供给的新鲜空气量。

6.3.3 为保证空气洁净度等级的送风量,应按表6.3.3中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算。

表6.3.3 气流流型和送风量
表6.3.3 气流流型和送风量

注:1 换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室;
      2 应根据室内人员、工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限值。

6.3.4 洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响,并应符合下列规定:
    1 单向流洁净室内不宜布置洁净工作台,非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台。
    2 需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。
    3 有发热设备时,应采取措施减少热气流对气流分布的影响。
    4 余压阀宜布置在洁净气流的下风侧。




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