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技术文章
洁净室的测试方法
2020-06-18
A.3.1 风量或风速测试应符合下列规定: 1 对于单向流洁净室,采用室截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量,测点位于高效过滤器出风面约150mm~300mm,垂直气流处的截面作为采样截面,截面上测点间距不宜大于0.6m,测点数不应少于4点,所有读数的算术平均值

A.3.1 风量或风速测试应符合下列规定:
    1 对于单向流洁净室,采用室截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量,测点位于高效过滤器出风面约150mm~300mm,垂直气流处的截面作为采样截面,截面上测点间距不宜大于0.6m,测点数不应少于4点,所有读数的算术平均值作为平均风速。
    2 对于非单向流洁净室,采用风口或风管法确定送风量,可按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243规定的方法执行。
A.3.2 静压差测试应符合下列规定:
    1 静压差的测定应在洁净室(区)的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行,并应在所有的门关闭时检测。
    2 仪器宜采用各种微差压力计,仪表灵敏度应小于1.0Pa。
A.3.3 已安装过滤器检漏测试应符合下列规定:
    1 检漏方法有光度计法和粒子计数器法。
    2 在过滤器上风侧应引入测试用气溶胶,在过滤器下风侧用光度计或粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面2cm~3cm处,以5mm/s~15mm/s的扫描速度移动,并应注意安装交接处的扫描。
A.3.4 密闭性测试应用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室(区)或非洁净室(区)通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室(区)。一般适用于1级至5级的洁净室(区)进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。
A.3.5 洁净度的检测应符合下列规定:
    1 使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器,在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率。仪器应有有效的标定合格证书。
    2 最少采样点数应按下式计算:

NL=A0.5            (A.3.5-1)

式中:NL——最少采样点;
             A——洁净室或被控洁净区的面积(m²)。
    3 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内,并位于工作活动的高度,活动高度宜距地面0.8m;每个采样点的最小采样时间为1min。
    4 每一采样点的每次采样量应至少为2L,采样量应按下式计算:

式中:VS——每个采样点的每次采样量,以L表示;当VS很大时,可使用顺序采样法;
      Cn·m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m³);
           20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时,可测到的粒子颗数(pc)。
    5 当洁净室或洁净区仅有一个采样点时,则在该点应至少采样3次。
A.3.6 对超出等级范围粒子的检测应符合下列规定:
    1 在产品生产工艺有要求时,可按等级粒径范围之外的粒子浓度规定空气洁净度的水平。此类粒子的最大允许浓度和检测方法应由客户与建造商协商确定。
    2 当需评价小于0.1μm的粒子造成的污染危险时,应采用符合这类粒子具体特性的采样方法和装置;可独立应用U描述符说明超微粒子浓度,也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明。
    U描述符用“U(χ,y)”表示,其中χ为超微粒子的最大允许浓度(pc/m³),y为以微米计的粒径。
    例如:粒径范围等于或大于0.O1μm的最大允许超微粒子的浓度为140 000个/m³,应表示为“U(140 000,0.O1μm)”。
    3 当需评价大于5μm的粒子造成的污染危险时,应采用符合这类粒子具体特性的采样装置和方法。可独立应用M描述符说明大于5μm的粒子浓度,也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明。
    M描述符用“M(a,b);c”表示,其中a为大粒子的最大允许浓度(pc/m³),b为与规定的大粒子测量方法相应的当量直径(μm),c为规定的测量方法。
    例如:采用显微镜对多级撞击采样器采集的粒子进行检测,测量得到10μm~20μm粒径范围的悬浮粒子浓度为1000个/m³,则用M描述符表示为“M(1OOO;1Oμm~20μm);多级撞击采样器以显微镜测定粒径并计数”。



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