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半导体工业洁净室无尘室

东莞半导体洁净车间

本工程洁净度为十万级,无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例, 无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规
详细介绍:

      1.无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘         室。按照国际惯例, 无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在         一个非常微量的单位上。
       2.如表所示,每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

        (1)无尘室分类对比 
        (2)乱流式 层流式 复合式 
        (3)水平层流式 垂直层流式 洁净隧道 洁净管道 局部无尘 
 
                                                                   洁净度
                                                                                                                 
                                                                                                              换气次数 (次/时)
                                                                                                                 
                                                                                                               风速
                                                                                                                  
                                                                                                               正压度


                                                                                                                  相关概念:
                                                                                                           

 ⑴自净时间:是指无尘室按设计换气次数开始送风到无尘室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min(分钟,可取15min计算 )10,000级希望不超过30min(分钟,可取25min计算)100,000级希望不超过40min(分钟,可取30min计算)

 
 ⑵换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5-55.3次/小时(规范:50次/小时)10,000级 23.8-28.6次/小时(规范:25次/小时)100,000级 14.4-19.2次/小        时(规范:15次/小时)

(3)gywczj.com/products/jjsjhgcfls/' target='_blank'>风淋室系列产品是一种通用性较强的局部净化设备,安装于洁净室与非洁净室之间。当人与货物要进入洁净区时需经gywczj.com/products/jjsjhgcfls/' target='_blank'>风淋室吹淋,其吹出的洁净空气可去除人        与货物所携带的尘埃,能有效的阻断或减少尘源进入洁净区。gywczj.com/products/jjsjhgcfls/' target='_blank'>风淋室/货淋室的前后两道门为电子互锁,又可起到气闸的作用,阻止未净化的空气进入洁净区 域。

1. FFU可模块化连接使用,使得FFU广泛应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等应用场合。FFU设有初、高效两级过滤网。风机 从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。它为不同尺寸大小,不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中,即可提高洁净度级别,降低噪音和振动,也可大大降低造价,安装维护方便,是洁净环境的理想部件。                                                                                                                 
  2.  FFU特点;
(1).FFU外形尺寸(mm):1175*575*320,噪声52~56分贝;
                                                                                                               
(2).FFU箱体和高效过滤器采用分体式设计,安装,更换高效更方便;
(3).风机采用德国emb直驱式离心风机或者国产铝叶轮离心风机,工作时间长达5万小时以上;
                                                                                                                
(4).并具有节能、计算机集中控制、运行稳定、噪声低、数字化调整等特性;  
(5)FFU采用独特的风道风速均匀,整个出风面以0.45M/S风速均匀送出。
(6)壳体可选用镜面不锈钢、覆铝锌板、冷板静电喷塑制做美观大方; FFU出厂前均按美国联邦标准(209E)用激光粒子计数器逐台扫描检测,确保质量;FFU            适用于10~1000级无尘车间,便于整体运行集中控制;


 
(7)FFU适用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的厂家及光学、生物工业及其它对空气中污染有严格控制要求的地方。以独特的优势合理的价格迅速占领市场。高度低,系统设计时可节省气室空间。轻量化结构设计,可符合各厂家的 Grid 系统安装,更可依 Grid 系统,变更 FFU 结构尺寸设计。
(8)内部装置扩散板.风压扩散均匀,出风面风速平均稳定。金属结构顺风道内胆,永不老化.杜绝二次污染产生,表面光滑,风阻低.隔音效果优良。特殊入风口,风道设计,降低压损与噪音的产生。马达效率高,系统消耗电流低,节省能源成本。单相马达,提供三段式调速,可依实际状况调高或降低风速与风量。
(9) 风机采用进口高效离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性,风机质量可靠,工作寿命长达5万小时或以上。
(10) 特别适合于组装成超净生产线,可根据工艺需要布置为单台使用,也可将多台串联形成100级流水装配线。 


我们专业从事洁净工程事业!(  gywczj.com

 

 


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