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半导体工业洁净室无尘室

美新半导体洁净车间

美新半导体(无锡)有限公司是一家典型的从零开始创业成功的高科技半导体企业。公司成立于一九九九年十一月,其核心技术主要来源于创始人员及美国模拟器件公司(ADI)的技术投资;其资金来源于美国,加拿大,台湾等地的风险投资,如台湾的积体半导体公司TSMC(其风
详细介绍:
   半导体洁净车间净化工程在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化车间所特别设计的房间。
 
对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
 1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
 2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
 3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
 4.压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙
 时的阻力时的阻。
 
 
 5.洁净室中的气流速度是指洁净室内的气流速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。
 6.对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下      要求;
(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
                                                                                                                
(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。



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